熱酸化膜をもつSi-MOS構造表面からのゲート電圧印加によるガス脱離

熱酸化膜をもつSi-MOS構造表面からのゲート電圧印加によるガス脱離

ネツサンカマク オ モツ Si - MOS コウゾウ ヒョウメン カラ ノ ゲート デンアツ インカ ニ ヨル ガスダツリ

西田美緒

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2019.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R015651

2

  • [MS]2018(10)

禁帯出

詳細情報

刊年

2019

別書名

Gate-voltage applied gas desorption from surfaces of MOS structures with thermal oxide layer

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2019年3月

注記

学位記番号: 修第7956号

学位授与年月日: 2019/03/31

学位の種類: 修士(理学)

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

西田, 美緒 (ニシダ, ミオ)

件名

表面物性

半導体

触媒

電子遷移誘起脱離