インジウムを介したVapor-Liquid-Solid機構に基づくシリコンナノワイヤーの形成と評価

インジウムを介したVapor-Liquid-Solid機構に基づくシリコンナノワイヤーの形成と評価

インジウム オ カイシタ Vapor-Liquid-Solid キコウ ニ モトズク シリコン ナノワイヤー ノ ケイセイ ト ヒョウカ

福永圭吾

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2014.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R011039

2

  • [MS]2014(11)

禁帯出

詳細情報

刊年

2014

別書名

Silicon Nanowire Growth by Vapor Liquid Solid Mode Using Indium Dots

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2014年3月

注記

学位記番号: 修第6221号

学位授与年月日: 2014/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1231074

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

福永, 圭吾 (フクナガ, ケイゴ)

件名

シリコンナノワイヤー

Vapor-Liquid-Solid機構

インジウム

水素ラジカル

スパッタリング