InGaAs/GaAs量子井戸のナノポスト加工と発光特性の評価

InGaAs/GaAs量子井戸のナノポスト加工と発光特性の評価

InGaAs/GaAs リョウシ イド ノ ナノ ポスト カコウ ト ハッコウ トクセイ ノ ヒョウカ

吉田由美

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R006964

2

  • [MS]2009(16)

Restricted

Details

Publication year

2009

Alternative title

Fabrication of nano-post InGaAs/GaAs quantum wells and characterization of their luminescence properties

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月

Note

学位記番号: 修第4536号

学位授与年月日: 2009/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0731097

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

吉田, 由美 (ヨシダ, ユミ)

Subject

ナノサイズ加工

化合物半導体

ECR-RIBE

電子線リソグラフィー

時間分解フォトルミネッセンス測定

表面再結合速度