プラズマ援用化学的気相堆積法によるシリコンナノドットの形成とフローティングゲートメモリへの応用

プラズマ援用化学的気相堆積法によるシリコンナノドットの形成とフローティングゲートメモリへの応用

プラズマ エンヨウ カガクテキ キソウ タイセキホウ ニヨル シリコン ナノ ドット ノ ケイセイ ト フローティング ゲート メモリ エノ オウヨウ

市川和典

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003507

2

  • [MS]2005(2)

Restricted

Details

Publication year

2005

Alternative title

Si nano dots fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and floating gate memory application

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

Note

学位記番号: 修第3066号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331006

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

市川, 和典 (イチカワ, カズノリ)

Subject

Siドット

フローティングゲートメモリ

PECVD

量子効果