スパッタ法によるZnO薄膜の光学定数温度依存性

スパッタ法によるZnO薄膜の光学定数温度依存性

スパッタホウ ニヨル ZnO ハクマク ノ コウガク テイスウ オンド イゾンセイ

北村武志

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003073

2

  • [MS]2004(5)

Restricted

Details

Publication year

2004

Alternative title

Temperature dependence of optical characteristics of ZnO thin film made by sputtering

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

Note

学位記番号: 修第2725号

授与年月日: 2004/03/24

学生番号: 0231024

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

北村, 武志 (キタムラ, タケシ)

Subject

薄膜

光学定数

ZnO