電子線投影露光による強誘電体微小キャパシタの作製とその電気的特性の評価

電子線投影露光による強誘電体微小キャパシタの作製とその電気的特性の評価

デンシセン トウエイ ロコウ ニ ヨル キョウユウ デンタイ ビショウ キャパシタ ノ サクセイ ト ソノ デンキテキ トクセイ ノ ヒョウカ

岩瀬拓麻

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003060

2

  • [MS]2004(2)

Restricted

Details

Publication year

2004

Alternative title

Fabrication of ferroelectric microcapacitors by electron-beam-projection process and accurate evaluation of their electrical properties

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

Note

学位記番号: 修第2712号

授与年月日: 2004/03/24

学生番号: 0231009

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

岩瀬, 拓麻 (イワセ, タクマ)

Subject

Ferroelectric

Electron-beam-projection

Electrical properties

Microcapacitors