強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜作製のための溶液気化プラズマMOCVD装置の開発

強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜作製のための溶液気化プラズマMOCVD装置の開発

キョウユウデンタイ Pb(Zr,Ti)O3 ハクマク サクセイ ノ タメノ ヨウエキ キカ プラズマ MOCVD ソウチ ノ カイハツ

河崎晋

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2002.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R002305

2

  • [MS]2002(5)

Restricted

Details

Publication year

2002

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2002年3月

Note

学位記番号: 修第2048号

授与年月日: 2002/03/22

学生番号: 0031028

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

河崎, 晋 (カワサキ, ススム)