立体形状の維持と原子秩序表面を両立した三次元Siライン構造の作製

立体形状の維持と原子秩序表面を両立した三次元Siライン構造の作製

リッタイ ケイジョウ ノ イジ ト ゲンシ チツジョ ヒョウメン オ リョウリツシタ サンジゲン Siライン コウゾウ ノ サクセイ

木元康成

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2024.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R019050

Details

Publication year

2024

Alternative title

Creation of three-dimensional Si line structures with both solid shapes and atomically ordered surfaces.

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2024年3月

Note

学位記番号: 修第9619号

学位授与年月日: 2024/03/31

学位の種類: 修士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

木元, 康成 (キモト, ヤスナリ)

Subject

構造物性

半導体材料

回折・散乱

表面再構成

成長制御

結晶成長