Development of ultra-thin glass flow velocity sensor fabricated by femtosecond laser processing

Development of ultra-thin glass flow velocity sensor fabricated by femtosecond laser processing

Yansheng Hao

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2022.3

Thesis / Diss.

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Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R017668

Details

Publication year

2022

Alternative title

フェムト秒レーザー加工による超薄型ガラス製フローセンサーの開発

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2022年3月

Note

学位記番号: 博第1871号

報告番号: 甲第1871号

学位授与年月日: 2022/03/31

学位の種類: 博士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

English (eng)

Language of texts

English (eng)

Author information

Hao, Yansheng

Subject

ultra-thin glass