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熱酸化膜をもつSi-MOS構造表面からのゲート電圧印加によるガス脱離

熱酸化膜をもつSi-MOS構造表面からのゲート電圧印加によるガス脱離

ネツサンカマク オ モツ Si - MOS コウゾウ ヒョウメン カラ ノ ゲート デンアツ インカ ニ ヨル ガスダツリ

西田美緒

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2019.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R015651

2

  • [MS]2018(10)

Restricted

Details

Publication year

2019

Alternative title

Gate-voltage applied gas desorption from surfaces of MOS structures with thermal oxide layer

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2019年3月

Note

学位記番号: 修第7956号

学位授与年月日: 2019/03/31

学位の種類: 修士(理学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

西田, 美緒 (ニシダ, ミオ)

Subject

表面物性

半導体

触媒

電子遷移誘起脱離