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大面積高速成膜に向けた線形高速分子線セルの開発

大面積高速成膜に向けた線形高速分子線セルの開発

ダイメンセキ コウソク セイマク ニ ムケタ センケイ コウソク ブンシセンセル ノ カイハツ

荻野孝太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2019.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R015614

2

  • [MS]2018(5)

Restricted

Details

Publication year

2019

Alternative title

Development of a Linear-Type High-Velocity Molecular-Beam Cell for Large-Area High-Speed Thin-Film Deposition

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2019年3月

Note

学位記番号: 修第7917号

学位授与年月日: 2019/03/31

学位の種類: 修士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

荻野, 孝太 (オギノ, コウタ)

Subject

真空蒸着

高速分子線

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