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SiO2/GaN MOSキャパシタに対する高圧水蒸気処理の反応機構に関する研究

SiO2/GaN MOSキャパシタに対する高圧水蒸気処理の反応機構に関する研究

SiO2 / GaN MOS キャパシタ ニ タイスル コウアツ スイジョウキ ショリ ノ ハンノウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ

安藤領汰

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2019.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R015590

2

  • [MS]2018(2)

Restricted

Details

Publication year

2019

Alternative title

Study on Reaction Mechanism of High Pressure Water Vapor Annealing for SiO2/GaN MOS Capacitor

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2019年3月

Note

学位記番号: 修第7892号

学位授与年月日: 2019/03/31

学位の種類: 修士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

安藤, 領汰 (アンドウ, リョウタ)

Subject

高圧水蒸気処理

SiO2/GaN

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