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インジウムを介したVapor-Liquid-Solid機構に基づくシリコンナノワイヤーの形成と評価

インジウムを介したVapor-Liquid-Solid機構に基づくシリコンナノワイヤーの形成と評価

インジウム オ カイシタ Vapor-Liquid-Solid キコウ ニ モトズク シリコン ナノワイヤー ノ ケイセイ ト ヒョウカ

福永圭吾

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2014.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R011039

2

  • [MS]2014(11)

Restricted

Details

Publication year

2014

Alternative title

Silicon Nanowire Growth by Vapor Liquid Solid Mode Using Indium Dots

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2014年3月

Note

学位記番号: 修第6221号

学位授与年月日: 2014/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1231074

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

福永, 圭吾 (フクナガ, ケイゴ)

Subject

シリコンナノワイヤー

Vapor-Liquid-Solid機構

インジウム

水素ラジカル

スパッタリング