ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨル コウキノウ サンカブツ ハンドウタイ オ モチイタ ハクマク トランジスタ ノ テイオン ケイセイ ト ソノ ヒョウカ
川村悠実
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2013.3
Thesis / Diss.
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R010030 |
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R010077 |
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2013
Low-Temperature Fabrication and Evaluation of Thin- Film Transistors with High-performance Oxide Semiconductor Prepared by Atomic Layer Deposition
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2013年3月
学位記番号: 博第1135号
学位授与年月日: 2013/3/22
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 1041005
Japan
Japanese (jpn)
Japanese (jpn)
川村, 悠実 (カワムラ, ユミ)
