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断面走査トンネル顕微鏡観察を目指したSi(111)ウェハー劈開断面作製システムの確立

断面走査トンネル顕微鏡観察を目指したSi(111)ウェハー劈開断面作製システムの確立

ダンメン ソウサ トンネル ケンビキョウ カンサツ オ メザシタ Si(111) ウェハー ヘキカイ ダンメン サクセイ システム ノ カクリツ

立花和也

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R009228

2

  • [MS]2012(9)

Restricted

Details

Publication year

2012

Alternative title

Development of a cross-sectional STM system for a thin film with an interface region on a Si wafer

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月

Note

学位記番号: 修第5509号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 修士(理学)

学生番号: 1031050

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

立花, 和也 (タチバナ, カズヤ)

Subject

XSTM

劈開

界面

電子状態