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生体超分子を用いたシリコン薄膜の低温結晶化における前駆体の研究

生体超分子を用いたシリコン薄膜の低温結晶化における前駆体の研究

セイタイ チョウブンシ オ モチイタ シリコン ハクマク ノ テイオン ケッショウカ ニ オケル ゼンクタイ ノ ケンキュウ

布施和志

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2011.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R008521

2

  • [MS]2011(14)

Restricted

Details

Publication year

2011

Alternative title

Study of precursors in low temperature crystallization of amorphous Si films

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2011年3月

Note

学位記番号: 修第5197号

学位授与年月日: 2011/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0931067

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

布施, 和志 (フセ, カズシ)

Subject

Bio Nano Crystallization

低温結晶化

poly-Si

Ni内包フェリチン

前駆体

厚膜