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CMOS技術を用いたマイクロ化学デバイスに関する研究

CMOS技術を用いたマイクロ化学デバイスに関する研究

CMOS ギジュツ オ モチイタ マイクロ カガク デバイス ニ カンスル ケンキュウ

皆川亨介

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2010.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

  • Abstract

R007861

Details

Publication year

2010

Alternative title

Study on micro-chemical devices based on complementary-metal-oxide-semiconductor technologies

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2010年3月

Note

学位記番号: 博第946号

学位授与年月日: 2010/03/24

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0741011

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

皆川, 亨介 (ミナカワ, キョウスケ)

Subject

CMOS

Micromachining

Mirco total analysis system

polarization measurement

in situ

micro pump