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スプレーCVD法によるSrTa2O6誘電体薄膜の作製と評価

スプレーCVD法によるSrTa2O6誘電体薄膜の作製と評価

スプレー CVD ホウ ニ ヨル SrTa2O6 ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ

林岳興

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R006965

2

  • [MS]2009(16)

Restricted

Details

Publication year

2009

Alternative title

Fabrication and characterization of SrTa2O6 thin films by spray MOCVD

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月

Note

学位記番号: 修第4537号

学位授与年月日: 2009/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0731098

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

林, 岳興 (リン, ガクコウ)

Subject

SrTa2O6

スプレーCVD

誘電体薄膜