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液体供給気化MOCVD法による強誘電体PZT薄膜の作製に関する研究

液体供給気化MOCVD法による強誘電体PZT薄膜の作製に関する研究

エキタイ キョウキュウ キカ MOCVD ホウ ニ ヨル キョウユウデンタイ PZT ハクマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ

三宅雅人

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2003.9

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 2
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1

  • [MS]2003

Restricted

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1

  • Abstract

R004681

Details

Publication year

2003

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2003年9月

Note

学位記番号: 博第349号

報告番号: 甲第349号

授与年月日: 2003/09/30

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0041024

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

三宅, 雅人 (ミヤケ, マサト)