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微細ミスト堆積法の開発とその強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製への応用に関する研究

微細ミスト堆積法の開発とその強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製への応用に関する研究

ビサイ ミスト タイセキホウ ノ カイハツ トソノ キョウユウ デンタイ Pb Zr,Ti O3 ハクマク ノ サクセイ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ

河﨑晋

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 2
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003625

2

  • [MS]2005

Restricted

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

  • Abstract

R004829

Details

Publication year

2005

Alternative title

Fabrication of Ferroelectric Pb(Zr, Ti)O3 Thin Film by Refined Mist Deposition

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2005年3月

Note

学位記番号: 博第497号

報告番号: 甲第497号

授与年月日: 2005/03/24

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0241005

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

河崎, 晋 (カワサキ, ススム)

Subject

ミスト堆積法

リファイナー

段差被覆性

強誘電体

薄膜