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シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究

シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究

シリコン シュウセキ カイロ ソシ ビサイカ ノタメノ アサイ セツゴウ ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ

獅子口清一

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2003.9

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 2
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003191

2

  • [MS]2003

Restricted

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

  • Abstract

R004678

Details

Publication year

2003

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2003年9月

Note

学位記番号: 博第346号

報告番号: 甲第346号

授与年月日: 2003/09/30

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0241202

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

獅子口, 清一 (シシグチ, セイイチ)