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酸素活性種を用いたシリコンカーバイドの低温酸化と電子物性評価

酸素活性種を用いたシリコンカーバイドの低温酸化と電子物性評価

サンソ カッセイシュ オ モチイタ シリコン カーバイド ノ テイオン サンカ ト デンシ ブッセイ ヒョウカ

福井文夫

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2000.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 1
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R001416

2

  • [MS]2000(16)

Restricted

Details

Publication year

2000

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2000年3月

Note

学位記番号: 修第1431号

授与年月日: 2000/03/24

学生番号: 9831088

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

福井, 文夫 (フクイ, フミオ)