タケッショウ ダイヤモンド ニ オケル スイソ プラズマ オ モチイタ イホウセイ エッチング キコウ ノ カイセキ
吉井大陸
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3
Thesis / Diss.
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R018428 |
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R018462 |
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2023
Analysis of anisotropic etching mechanism by hydrogen plasma on polycrystalline diamond
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2023年3月
学位記番号: 博第1974号
報告番号: 甲第1974号
学位授与年月日: 2023/03/31
学位の種類: 博士(工学)
博士論文公表延期中のため、本文に代えて要約を公表中
Japan
Japanese (jpn)
Japanese (jpn)
吉井, 大陸 (ヨシイ, ダイチ)
