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非晶質酸化物半導体における信頼性解析と三次元集積デバイス応用に向けた機能性の開拓

非晶質酸化物半導体における信頼性解析と三次元集積デバイス応用に向けた機能性の開拓

ヒショウシツ サンカブツ ハンドウタイ ニ オケル シンライセイ カイセキ ト サンジゲン シュウセキ デバイス オウヨウ 二 ムケタ キノウセイ ノ カイタク

髙橋崇典

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3

Thesis / Diss.

Volume No.

Total: 2
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

  • Abstract

R018415

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

  • Digest

R018459

Details

Publication year

2023

Alternative title

Reliability analysis and functionalization toward 3D integrated devices for amorphous oxide semiconductors

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2023年3月

Note

学位記番号: 博第1971号

報告番号: 甲第1971号

学位授与年月日: 2023/03/31

学位の種類: 博士(工学)

博士論文公表延期中のため、本文に代えて要約を公表中

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

髙橋, 崇典 (タカハシ, タカノリ)

Subject

非晶質酸化物

半導体

三次元集積デバイス