1　真空装置の基本 1.1　真空の必要性 1.2　基本的構成 1.3　真空装置の取り扱いの基本 1.4　真空ポンプの原理 1.4.1　真空ポンプの分類 1.4.2　低真空ポンプ — 1 ： ドライ （真空） ポンプ （拡散型） 1.4.3　低真空ポンプ — 2 ： 油回転ポンプ （拡散型） 1.4.4　高真空ポンプ — 1 ： ターボ分子ポンプ （拡散・運動量型） 1.4.5　高真空ポンプ — 2 ： 油拡散ポンプ （拡散・運動量型） 1.4.6　超高真空ポンプ — 1 ： スパッタイオンポンプ （吸着型） 1.4.7　超高真空ポンプ — 2 ： クライオポンプ （凍結型） 1.4.8　ゲッターポンプ （吸着型） 1.5　圧力 （真空） 測定 1.5.1　圧力と真空 1.5.2　隔膜型真空計 （ダイアフラムゲージ） 1.5.3　ピラニー真空計 1.5.4　水晶摩擦真空計 1.5.5　冷陰極電離真空計 ： ぺニング真空計 1.5.6　熱陰極電離真空計 ： B-A 型電離真空計 1.5.7　複合型真空計 1.6　真空排気の基礎 1.6.1　到達圧力と排気速度 1.6.2　コンダクタンスと実効排気速度 1.6.3　気体分子の吸着・脱離の基本式と表面排気 ： べーキングの効用 1.6.4　流量測定制御装置 演習問題