第 3 節 微細構造解析 1 はじめに 2 集束イオンビーム加工法による薄膜作製 3 過共晶AI-Si合金焼結体の微細組織 3.1 SEM による焼結体の微細組織観察 3.2 TEM による微細組織観察 4 アルミナ焼結体の微細組織 4.1 TEM による明視野観察 4.2 STEM-EDS による粉末粒界の分析 4.3 HRTEM による微細構造解析

安野　拓也