第 2 節 非鉛積層圧電セラミックスを用いた小型超音波モータ 1 はじめに 2 モータの設計 2.1 設計指針 2.2 圧電素子 2.3 モータ構造 3 積層圧電セラミックスの作製 3.1 (Sr,Ca)2NaNb5O15 の特性と改良 3.2 積層圧電セラミックスの設計と特性 4 モータの作製とその特性 4.1 モータの作製と測定方法 4.2 モータ特性 5 アレイ形積層圧電セラミックスによる特性改善 6 モータ特性の期待値 7 おわりに

土信田 豊