第 8 章 SAW，FBAR,アンテナ 第 1 節 高周波弾性波デバイスの技術開発と携帯電話への応用 1 はじめに 2 SAW デバイス開発 2.1 SAW デバイス温度特性改善技術 2.2 デュープレクサへの応用 3 FBAR デバイス開発 3.1 Air-gap 型 FBAR デバイスの開発 3.2 デュープレクサへの応用と高周波化の検討 4 おわりに

上田 政則, 佐藤 良夫