第 5 節 チタン酸バリウムナノクリスタルを用いた薄膜キャパシタ 1 はじめに 2 ナノクリスタルを用いた薄膜形成技術 2.1 BaTiO3 ナノクリスタルの合成 2.2 BaTiO3 ナノクリスタルスラリーの塗布と熱処理による膜緻密化 3 ナノクリスタルを用いた配向性柱状構造形成のメカニズムと固相エピタキシー 4 Cu 電極上でのナノクリスタル BaTiO3 薄膜の形成 5 おわりに

鈴木 利昌, 竹澤 洋子, 中曽根 文