第 7 節 高周波インピーダンスマッチング用薄膜キャパシタ（Z-match）の開発 1 はじめに 2 Z-match の設計 2.1 インピーダンスマッチング素子 2.2 Z-match の構造設計 2.3 Z-match の薄膜工程設計 3 Z-match の特性 3.1 高周波特性 3.2 PA モジュール評価 4 今後の展開

崔 京九, 大塚 隆史