第 6 節 超低背薄膜コンデンサ 1 はじめに 2 BST 低背コンデンサ 3 実効容量保証コンデンサ 4 低 ESL コンデンサ 5 Si インターポーザ上へのコンデンサ形成 6 まとめ

第 6 節 超低背薄膜コンデンサ 1 はじめに 2 BST 低背コンデンサ 3 実効容量保証コンデンサ 4 低 ESL コンデンサ 5 Si インターポーザ上へのコンデンサ形成 6 まとめ

笹島 裕一

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積層デバイス作成の極意, p. 82-88

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