第 3 節 多層セラミックデバイス 1 まえがき 2 技術の推移 3 材料，プロセス 3.1 材料 3.2 セラミック多層プロセス 4 応用 4.1 多層デバイス 4.2 多層サブモジュール 4.3 機能基板 5 今後の展開 6 まとめ

中島 規巨