詳細情報

刊年

2021

別書名

結晶Siの低温成長とその薄膜トランジスタ、関連デバイスへの応用

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2021年3月

注記

学位記番号: 博第1783号

報告番号: 甲第1783号

学位授与年月日: 2021/03/31

学位の種類: 博士(工学)

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

田邉, 浩 (タナベ, ヒロシ)

件名

crystalline silicon

low-temperature growth

thin-film transistor

poly-Si TFT

excimer laser