フェムト秒レーザー加工によるマイクロ流体デバイスに集積したガラス流速センサーの開発

フェムト秒レーザー加工によるマイクロ流体デバイスに集積したガラス流速センサーの開発

フェムトビョウ レーザー カコウ ニ ヨル マイクロ リュウタイ デバイス ニ シュウセキシタ ガラス リュウソク センサー ノ カイハツ

Chaoying Fang

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2020.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R016547

詳細情報

刊年

2020

別書名

Development of glass flow velocity sensor integrated in microfluidic chip by femtosecond laser processing

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 43891

注記

学位記番号: 修第8332号

学位授与年月日: 2020/03/31

学位の種類: 修士(工学)

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

Fang, Chaoying

件名

マイクロ流体デバイス

フェムト秒レーザー

レーザー加工

流速センサー

薄板ガラス

バイオテクノロジー