スイソ ガンユウ ゼツエンマク ニ ヨル テイリーク デンリュウ ダイヤモンド ハンドウタイ ソシ ノ ケンキュウ
宮越雄太
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2019.3
1
R015661
2
禁帯出
2019
Low leakage current diamond semiconductor devices with hydrogen-containing insulating film
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2019年3月
学位記番号: 修第7967号
学位授与年月日: 2019/03/31
学位の種類: 修士(工学)
日本語 (jpn)
宮越, 雄太 (ミヤゴシ, ユウタ)
ダイヤモンド
Al2O3
パワーデバイス
ALD
DMAH
ダイヤモンドAl2O3パワーデバイスALDDMAH
