放射線検出用CdTe結晶表面へのArプラズマ前処理効果

放射線検出用CdTe結晶表面へのArプラズマ前処理効果

ホウシャセン ケンシュツヨウ CdTe ケッショウ ヒョウメン エノ Ar プラズマ マエショリ コウカ

柿本祐輔

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2017.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R013522

2

  • [MS]2016(21)

禁帯出

詳細情報

刊年

2017

別書名

The effect of the Ar plasma treatment on the CdTe surface for the radiation detector

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2017年3月

注記

学位記番号: 修第7180号

学位授与年月日: 2017/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 1531015

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

柿本, 祐輔 (カキモト, ユウスケ)

件名

放射線検出器

化合物半導体

CdTe

Arプラズマ処理