ホウシャセン ケンシュツヨウ CdTe ケッショウ ヒョウメン エノ Ar プラズマ マエショリ コウカ
柿本祐輔
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2017.3
1
R013522
2
禁帯出
2017
The effect of the Ar plasma treatment on the CdTe surface for the radiation detector
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2017年3月
学位記番号: 修第7180号
学位授与年月日: 2017/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1531015
日本語 (jpn)
柿本, 祐輔 (カキモト, ユウスケ)
放射線検出器
化合物半導体
CdTe
Arプラズマ処理
放射線検出器化合物半導体CdTeArプラズマ処理
