SOI ノ ハクマクカ プロセス オヨビ カクド ブンカイ コウデンシ ブンコウ ニ ヨル SOI ヒョウメン ノ デンシ ジョウタイ ノ ケンキュウ
小久井一樹
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2014.3
学位論文2014
The thinning process and attempt to measure electronic states of Silicon On Insulator by Angle Resolved Photoelectron Spectroscopy
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2014年3月
学位記番号: 修第6186号
学位授与年月日: 2014/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1231034
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
小久井, 一樹 (コクイ, カズキ)
