サンフッカ エンソ オ モチイタ タンカ ケイソ ノ ネツ エッチング トクセイ
堀良太
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2014.3
1
R011042
2
禁帯出
2014
Thermal Etching Characteristics of Silicon Carbide Using Chlorine Trifluoride
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2014年3月
学位記番号: 修第6224号
学位授与年月日: 2014/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1231078
日本語 (jpn)
堀, 良太 (ホリ, リョウタ)
炭化ケイ素
エッチング
三フッ化塩素
トレンチ
サブトレンチ
{0001}面
炭化ケイ素エッチング三フッ化塩素トレンチサブトレンチ{0001}面
