積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成

積層構造レーザーアニールによる非晶質基板上単結晶ゲルマニウム薄膜の低温形成

セキソウ コウゾウ レーザー アニール ニ ヨル ヒショウシツ キバンジョウ タンケッショウ ゲルマニウム ハクマク ノ テイオン セイセイ

研究代表者堀田昌宏

[生駒] : [奈良先端科学技術大学院大学], 2011-2012

学内論文

巻号情報

全3件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • KAKENS

R010436

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  • KAKENJ

R010307

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  • KAKENJ

R010478

詳細情報

刊年

2011-2012

別書名

科学研究費補助金実績報告書

科学研究費補助金(若手研究(B))実績報告書

平成23年度科学研究費補助金(若手研究(B))実績報告書

平成24年度科学研究費補助金(若手研究(B))実績報告書

科学研究費補助金若手研究(B)研究成果報告書

平成23年度-平成24年度科学研究費補助金(若手研究(B))研究成果報告書

シリーズ名

科学研究費補助金(若手研究(B))研究成果報告書 ; 平成23-24年度

注記

課題番号: 23760284

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

堀田, 昌宏 (ホリタ, マサヒロ)

件名

薄膜トランジスタ

ゲルマニウム

シリコン

レーザーアニール

番号

KAKEN : 23760284