サンカ マク/(11-20)メン シリコン カーバイド カイメン エノ リン ドウニュウ ニ ヨル カイメン ジュンイ ミツド ノ テイゲン コウカ
梅澤奈央
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2013.3
学位論文2013
Effects of phosphorus incorporation into SiO2/SiC interface on electrical properties of MOS capacitors fabricated on 4H-SiC（11-20）
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2013年3月
学位記番号: 修第5813号
学位授与年月日: 2013/3/22
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1131011
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
梅澤, 奈央 (ウメザワ, ナオ)
