コウオン フラッシュ アニール ニ ヨル サブ バンド ジュンイ カンカク エノ エイキョウ ノ カイメイ
坂田智裕
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3
1
R009215
2
禁帯出
2012
effect of the flash annealing on the subband energy separation
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月
学位記番号: 修第5496号
学位授与年月日: 2012/3/23
学位の種類: 修士(理学)
学生番号: 1031037
日本語 (jpn)
坂田, 智裕 (サカタ, トモヒロ)
フラッシュアニール
サブバンド
不純物
空間電化層
Si(111)
フラッシュアニールサブバンド不純物空間電化層Si(111)