フレキシブル ハッコウ ソシ ノ ジツゲン ニ ムケタ トウメイ サンカブツ ハンドウタイ ノ サクセイ
山村一貴
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2011.3
1
R008545
2
禁帯出
2011
Study on InGaZnO transparent oxide thin films for flexible semiconductor devices
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2011年3月
学位記番号: 修第5222号
学位授与年月日: 2011/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0931093
日本語 (jpn)
山村, 一貴 (ヤマムラ, カズキ)
フレキシブル
透明酸化物半導体
InGaZnO
窒素導入
フレキシブル透明酸化物半導体InGaZnO窒素導入
