へき開法によるシリコン表面上の超薄膜界面構造の断面走査トンネル顕微観察

へき開法によるシリコン表面上の超薄膜界面構造の断面走査トンネル顕微観察

ヘキカイホウ ニヨル シリコン ヒョウメンジョウ ノ チョウハクマク カイメン コウゾウ ノ ダンメン ソウサ トンネル ケンビ カンサツ

研究代表者服部賢

[生駒] : [奈良先端科学技術大学院大学], 2009-2011

学内論文

巻号情報

全4件
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  • KAKENS

R009569

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  • KAKENJ

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R007947

詳細情報

刊年

2009-2011

別書名

Cross-sectional scanning tunneling microscopy observations forinterface structures of ultra-thin films on Si surfaces using cleavage methods

科学研究費補助金実績報告書

科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

平成21年度科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

平成22年度科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

平成23年度科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

科学研究費補助金研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

平成21年度-平成23年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

シリーズ名

科学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書 ; 平成21-23年度

注記

課題番号: 21540322

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

服部, 賢 (ハットリ, ケン)

件名

走査トンネル顕微鏡

界面構造

へき開

薄膜

シリコン表面

番号

KAKEN : 21540322