スパッタリング法による高品位Pb1-xLaxTi1-x/4O3薄膜の作製とその焦電特性の研究

スパッタリング法による高品位Pb1-xLaxTi1-x/4O3薄膜の作製とその焦電特性の研究

スパッタリングホウ ニ ヨル コウヒンイ Pb1-xLaxTi1-x/4O3 ハクマク ノ サクセイ ト ソノ ショウデン トクセイ ノ ケンキュウ

長尾宣明

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3

学位論文

巻号情報

全2件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R007023

2

  • [MS]2009

禁帯出

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R007081

詳細情報

刊年

2009

別書名

Study on High Quality Pb1-xLaxTi1-x/4O3 Thin Films Deposition with Sputtering Method and those Pyroelectric Properties

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2009年3月

注記

学位記番号: 博第866号

報告番号: 甲第866号

学位授与年月日: 2009/03/24

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0841013

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

長尾, 宣明 (ナガオ, ノブアキ)

件名

強誘電体

焦電体

薄膜

赤外線センサー

スパッタリング法