Si(001)表面上でのSPE成長法によるFeシリサイドの形成

Si(001)表面上でのSPE成長法によるFeシリサイドの形成

Si(001) ヒョウメンジョウ デノ SPE セイチョウホウ ニヨル Fe シリサイド ノ ケイセイ

中野浩文

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2006.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R004017

2

  • [MS]2006(10)

禁帯出

詳細情報

刊年

2006

別書名

Iron silicides grown by solid phase epitaxy on Si(001) surface

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2006年3月

注記

学位記番号: 修第3449号

授与年月日: 2006/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0431053

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

中野, 浩文 (ナカノ, ヒロフミ)

件名

silicide

Fe

SPE

Si(001)

surface

phase