コウソク キエキ ブンリ チップ ノ タメノ ナノ コウゾウ ニ カンスル ケントウ
三笘佳代
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2006.3
1
R003990
2
禁帯出
2006
Development concerning nano structure for high-speed gas-liquid separation chip
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2006年3月
学位記番号: 修第3472号
授与年月日: 2006/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0431078
日本語 (jpn)
三笘, 佳代 (ミトマ, カヨ)
MEMS
μ-TAS
気液分離
ブラックシリコン
MEMSμ-TAS気液分離ブラックシリコン
