電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製

電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製

目次あり

デンシセン イッカツ ロコウ ニヨル キョウユウデンタイ ナノ キャパシタ ノ サクセイ

研究代表者岡村総一郎

[生駒] : [奈良先端科学技術大学院大学], 2005.5

学内論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • KAKENS

R003658

2

図書館

  • KAKENB
  • 2005
  • 16

0037059

一般

詳細情報

刊年

2005

形態

1冊 ; 30 cm

シリーズ名

科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成15-16年度

注記

課題番号15560277

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn) ; 英語 (eng)

著者情報

岡村, 総一郎 (オカムラ, ソウイチロウ)

NCID

BA75695156

番号

KAKEN : 15560277