キョウユウ デンタイ メモリヨウ ハッキンケイ ゴウキン デンキョク ニカンスル ケンキュウ
栗田昌昭
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.6
1
R003623
2
禁帯出
R004760
2004
Studies of Platinum Alloy Electrodes for Ferroelectric Random Access Memories
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2004年6月
学位記番号: 博第428号
報告番号: 甲第428号
授与年月日: 2004/06/29
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 0041013
日本語 (jpn)
栗田, 昌昭 (クリタ, マサアキ)
強誘電体メモリ
電極材料
薄膜
白金族
合金
半導体
強誘電体メモリ電極材料薄膜白金族合金半導体
