ヒカリ ショクバイ キノウ オ ユウスル マイクロ リアクター チップ
田口哲也
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3
1
R003557
2
禁帯出
2005
Micro reactor chip with photocatalytic function
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月
学位記番号: 修第3103号
授与年月日: 2005/03/24
学生番号: 0331047
日本語 (jpn)
田口, 哲也 (タグチ, テツヤ)
光触媒
マイクロリアクター
スパッタ成膜
酸化チタン
MEMS
田口 哲也
光触媒マイクロリアクタースパッタ成膜酸化チタンMEMS田口 哲也