サンカブツ ハクマク サクセイ ノ タメ ノ エキタイ ジュウテン ヘイコウ キカ MOCVDホウ ノ カイハツ
西ノ内正人
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
学位論文2004
Development of liquid charging equilibrium evaporated MOCVD for fabrication of oxide thin films
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 修第2752号
授与年月日: 2004/03/24
学生番号: 0231054
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
西ノ内, 正人 (ニシノウチ, マサト)
